پمپ خلاء به دستگاه یا تجهیزاتی اطلاق می شود که از روش های مکانیکی، فیزیکی، شیمیایی یا فیزیکی-شیمیایی برای تخلیه ظرف پمپ شده برای به دست آوردن خلاء استفاده می کند. به طور کلی، پمپ خلاء دستگاهی است که از روش های مختلفی برای بهبود، تولید و حفظ خلاء در یک فضای بسته استفاده می کند.
با توجه به اصل کار پمپ های خلاء، پمپ های وکیوم را می توان به دو نوع پمپ های جذب گاز و پمپ های انتقال گاز تقسیم کرد. به طور گسترده ای در متالورژی، صنایع شیمیایی، مواد غذایی، پوشش های الکترونیکی و سایر صنایع استفاده می شود.
دو روتور پمپ خلاء با یک جفت چرخ دنده با دقت بالا نسبتاً هماهنگ هستند. محور محرک از طریق یک کوپلینگ به موتور متصل می شود. دو نوع اصلی آرایش ساختار محرک وجود دارد: یکی این که موتور و چرخ دنده همانطور که در شکل نشان داده شده است در یک سمت روتور قرار می گیرند. روتور محرک مستقیماً توسط چرخ دنده در انتهای موتور به حرکت در می آید. به این ترتیب، تغییر شکل پیچشی شفت روتور محرک کم است و شکاف بین دو روتور به دلیل تغییر شکل پیچشی زیاد شفت محرک تغییر نخواهد کرد، بنابراین شکاف بین روتورها در حال اجرا است. روند یکنواخت است. بزرگترین معایب این روش انتقال عبارتند از: الف. سه یاتاقان روی محور محرک وجود دارد که مشکلات پردازش و مونتاژ پمپ را افزایش می دهد و جداسازی و تنظیم دنده ناخوشایند است. ب ساختار کلی ناهموار است و مرکز ثقل پمپ به سمت موتور و جعبه دنده تعصب دارد.
(1) سرعت پمپاژ زیادی در محدوده فشار گسترده وجود دارد.
(2) روتور دارای تقارن هندسی خوبی است، بنابراین ارتعاش کم است و عملکرد پایدار است. بین روتورها و بین روتور و بدنه شکاف وجود دارد. نیازی به روغن کاری نیست و اتلاف اصطکاک کم است. قدرت رانندگی را می توان تا حد زیادی کاهش داد، به طوری که می توان به سرعت بالاتری دست یافت.
(3) نیازی به آب بندی و روغن کاری با روغن در حفره پمپ نیست، که می تواند آلودگی سیستم خلاء را توسط بخار روغن کاهش دهد.
(4) فشاری در حفره پمپ وجود ندارد و دریچه اگزوز وجود ندارد. ساختار ساده و فشرده، غیر حساس به گرد و غبار و بخار آب در گاز پمپ شده؛
(5) فشرده سازی نسبتا کم است و اثر پمپاژ گاز هیدروژن ضعیف است.
(6) سطح روتور یک سطح استوانه ای منحنی پیچیده تر است که پردازش و بازرسی آن دشوار است.